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驅(qū)動(dòng)類型:有鐵芯平板線性馬達(dá) 重復(fù)定位精度:±2μm 主截面最大外形尺寸:82*77.5 超長行程 高行走精度 超靜音 高無塵等級(jí) 超高經(jīng)濟(jì)型
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